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真空度測(cè)試儀的簡(jiǎn)介
瀏覽次數(shù):949發(fā)布日期:2021-05-12

真空度測(cè)試常見(jiàn)的有破壞性測(cè)試方法和無(wú)損檢測(cè)方法。

破壞性測(cè)試方法常見(jiàn)的是采用針頭刺入容器空,通過(guò)壓力(真空度)傳感器探測(cè)獲取真空度,該測(cè)試方法在定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響,可以用于真空度的粗略抽查,在小空容器中表現(xiàn)尤為明顯。應(yīng)用是用于粗略的行密閉容器整性測(cè)試(CCIT)評(píng)估,方法是將真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留樣半年到1年,然后觀察瓶?jī)?nèi)真空度。如果里面還有定真空度,即里面的壓力是微負(fù)壓,說(shuō)明瓶子是不漏的;相反,如果里面的壓力是常壓,說(shuō)明瓶子是漏的。

 

如果是用于藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定,通常會(huì)采用無(wú)損的真空度測(cè)試方法。無(wú)損的真空度測(cè)試方法常見(jiàn)的是激光法(即調(diào)頻光譜法(FMS)),它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在定波段下有激光吸收,并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰或振幅)和物質(zhì)的含量成正比,其中水汽的激光吸收?qǐng)D譜中的峰寬(波峰和波谷之間的橫向距離)和空總壓力成正比。采用激光法能夠?qū)θ萜餍袩o(wú)損真空度測(cè)試。激光法對(duì)真空度的小檢出限大約為7mbar。

 

 

測(cè)試原理

真空度測(cè)試儀采用磁控放電法行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的距離,施加電場(chǎng)脈沖壓,將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€(xiàn)圈置于滅弧室外側(cè),向線(xiàn)圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)。對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型),由于其結(jié)構(gòu)不同,在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下,離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線(xiàn)。當(dāng)測(cè)知離子電流后,就可以通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流真空度曲線(xiàn)獲得該管型的真空度。

 

在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí),為了提其測(cè)試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線(xiàn)管線(xiàn)管內(nèi)。而使用磁控線(xiàn)圈可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理,提了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。

 

真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的開(kāi)距,施加脈沖壓,將電磁線(xiàn)圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線(xiàn)圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng),這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng)。對(duì)于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測(cè)知離子電流后,通過(guò)離子電流真空度曲線(xiàn),由計(jì)算機(jī)自動(dòng)成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。

 

采用磁控放電法行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的距離,施加電場(chǎng)脈沖壓,將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€(xiàn)圈置于滅弧室外側(cè),向線(xiàn)圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng),離子電流的大小也不相同。

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